微执行器(仅适用PC阅读)

微执行器是现代自动控制技术的关键技术。近年来，随着微电子技术和微细加工工艺的快速发展，特别是微纳米技术的蓬勃兴起，为微执行器的研究提供了有力的技术支持。本书共分9章，系统阐述和介绍了微执行器中电磁型微马达、光学执行器、微阀门、微型泵、生物微执行器、微机械执行器和化学执行器的基本原理、技术基础、制造工艺和应用实例。 本书可供从事自动化领域及微纳米技术研究的工程技术人员阅读参考，也可作为大专院校中相关专业师生的参考书。