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微纳传感器及其应(仅适用PC阅读)

微纳传感器及其应(仅适用PC阅读)

朱勇,张海霞
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内容简介

本书的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS设计的基础理论和研究方法,结合几种常用的MEMS器件作为研究实例,让学生了解和掌握MEMS器件和系统,从原理设计、工艺设计、系统设计,到加工测试的整个设计过程,以及其中应该关注的主要问题和这些问题的研究、解决方法。同时,培训目前MEMS研究中常用的软件工具,让学生掌握*的辅助研究工具,提高设计效率和质量。

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