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先进纳米薄膜材料:制备方法及应用=Advanced …
林媛、陈新 主编
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内容简介
本书总结了纳米薄膜材料的国内外研究*展,既详细地介绍了纳米薄膜材料的制备方法,又介绍了它们在电子器件领域的应用。系统阐述了薄膜及纳米结构的一系列制备技术,不仅包括溶胶凝胶法、MOCVD、电子束沉积、磁控溅射等传统技术,还包括近年来新发展起来的高分子辅助沉积法、3D印、液相-电子束诱导沉积等技术。此外,本书还对纳米薄膜及其它纳米结构的一些典型应用做了介绍,并给出实例,包括磁性薄膜的应用、氧化物薄膜在燃料电池领域的应用、相变材料在存储器领域的应用和柔性薄膜器件等。本书适合材料、微电子等相关专业的研究生、科技人员和教学人员使用。
【推荐语】
1. 纳米薄膜材料在国际上近10年来一直是科学研究的热门领域,本书覆盖各种纳米薄膜材料的制备技术,重阐明生长机制以及生长条件与纳米薄膜材料性能之间的关联性,并介绍相关的制备技术在纳米薄膜材料和纳米器件中的应用实例。 2. 除了传统的制备技术如溶胶-凝胶法、电子束沉积等,还包含很多近10多年来新兴的纳米薄膜制备技术如高分子辅助沉积法、3D印等国内外在该领域的新展。 3. 本书注重基本概念和应用实例并重,充分考虑不同层次读者的需求。在每个章节先介绍一种制备技术或器件应用的基本概念和工作原理,这会有利于本科生之类初级程度的读者,之后会介绍具有一定深度的纳米薄膜结构形成机制及器件应用实例,这将吸引有一定科研经验的高级读者。 4. 本书会使读者在读了本书之后对本领域能具备一个比较广阔的视野,将从本书中学到物理知识应用到其他领域中去。
【作者】
林媛教授于1999年在中国科技大学获得凝聚态物理学博士,之后分别在北京中科院物理所、美国休斯顿大学和美国洛萨莫斯国家实验室行博士后研究,并在美国Intel公司担任高级工程师。目前,她是电子科技大学的长江学者特聘教授。她在薄膜和纳米材料领域研究了近20年,包括使用脉冲激光沉积法、磁控溅射法和化学溶液法制备各种薄膜材料并展其性能和应用的研究。林媛教授已发表90余篇学术论文和获得授权13项专利。
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作者
林媛、陈新 主编
出版
化学工业出版社
分类
出版物 >
工业技术 >
一般工业技术
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