扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术

本书是介绍扫描电镜和X射线能谱仪的原理和应用的专业书籍，全书共有两篇。 **篇主要介绍了扫描电镜的基本原理，包括扫描电镜的国内外发展历程、电镜的基本原理和结构、实际应用中常见的一些成像技术和具体应用、样品的处理、电镜日常的维护及保养，还介绍了电镜安装场地和环境的基本要求及相关参数。 第二篇主要介绍能谱仪的基本原理、结构和实际的应用技术，包括Si（Li）与SDD两种不同的检测器。*后还简单地介绍了传统的罗兰圆和新型的平行光波谱仪的工作原理及其各自的特。
【推荐语】
本书不但介绍了扫描电镜和能谱仪的结构、原理，以及在质量检测、工艺监控和失效分析中的实际应用技术，还介绍了对样品的制备，设备的维护、保养的一些方法。而低真空、环扫电镜和SDD新型能谱检测器、平行光波谱仪等新技术更是相关专业人员急需的。
【作者】
施明哲，工业和信息化部电子第五研究所高级工程师，广东省电真空学会会员；广东省电子显微学会会员；中国电子显微镜学会会员。长期从事电子元器件可靠性的研究分析工作，在电子元器件的可靠性物理评价及失效分析等方面取得一定的研究成果，先后获所级奖励10几项；获FEI、Hitachi、 EDX和OXFORD等公司的全国性用户会的奖励约15项；中国电子显微镜学会的奖励1项；省部级科技奖励3项，发表学术论文约20篇。先后为省内外的同行们举办并主讲过14期的扫描电镜和能谱仪的原理及应用的培训课程。