压电薄膜体声波谐振器及滤波器设计

本书主要讲述压电薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonators，FBAR)的工作原理，推导FBAR 的电学阻抗表达式，由此构建其Mason 模型，对其底电极、顶电极、压电层的结构参数，以及有效谐振面积对器件谐振频率的影响行模拟仿真与验证，并针对FBAR 的温度漂移提出有效的温度补偿措施；其次介绍FBAR 的二维与三维建模过程，利用有限元分析法研究FBAR 的电极形状、面积及器件结构对谐振模态的影响，并从有限元分析中提取相关损耗参数，修正和提高Mason 电学模型的精度；最后分析FBAR 滤波器的工作原理，从滤波器的级联方式、串并联FBAR 的有效谐振面积比、滤波器的级联阶数等方面行研究，给出FBAR 滤波器优化设计过程。本书可以作为从事FBAR 器件研究与设计，特别是FBAR 滤波器设计人员、微电子工程技术人员的参考用书，也可以作为相关专业研究生的参考用书。
【作者】
吴秀山，从2003年就始对模拟与射频收发机的射频前端集成电路行研究与设计工作。曾主持3项浙江省自然科学基金项目、参与国家自然科学基金4项和浙江省自然科学基金项目3项，以上项目均以集成电路设计及应用为核心，SCI收录论文5篇、EI收录论文近20篇，授权国家发明专利5项。