GB 51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范电子书

书名页

版权页

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

前　言

目录

1　总　则

2　术　语

3　基本规定

4　工　艺

4.1　一般规定

4.2　基本工序

4.3　工艺区划

4.4　设备配置

5　厂址选择及总体规划

5.1　厂址选择

5.2　总体规划

6　建　筑

6.1　一般规定

6.2　防火及安全疏散

7　结　构

7.1　一般规定

7.2　厂房结构设计

7.3　微振动控制标准

7.4　微振动控制设计及测试

7.5　基座平台设计

8　气体动力

8.1　冷、热　源

8.2　大宗气体供应

8.3　特种气体供应

8.4　压缩空气供应

8.5　工艺真空和清扫真空

9　供暖、通风、空气调节与净化

9.1　一般规定

9.2　采暖、通风与废气处理

9.3　空气调节与净化

9.4　防　排　烟

10　给水排水

10.1　一般规定

10.2　一般给水排水

10.3　纯　水

10.4　工艺冷却循环水

10.5　废　水

10.6　消防给水及灭火设施

11　电　气

11.1　供配电与照明

11.2　防雷与接地

11.3　火灾报警及消防联动

11.4　通信及自控

12　防　静　电

12.1　一般规定

12.2　防静电措施

12.3　防静电接地

13　化　学　品

13.1　一般规定

13.2　化学品储存和配送

13.3　管材、阀门

13.4　化学品废液收集回收

14　空间管理

14.1　一般规定

14.2　管线布置

14.3　共用管道支、吊架

附录A　薄膜晶体管液晶显示器生产工艺流程

附录B　微振动标准VC曲线

本规范用词说明

引用标准名录

条文说明

制订说明

1　总　则

2　术　语

3　基本规定

4　工　艺

4.1　一般规定

4.2　基本工序

4.3　工艺区划

4.4　设备配置

5　厂址选择及总体规划

5.1　厂址选择

5.2　总体规划

6　建　筑

6.1　一般规定

6.2　防火及安全疏散

7　结　构

7.1　一般规定

7.2　厂房结构设计

7.4　微振动控制设计及测试

7.5　基座平台设计

8　气体动力

8.1　冷、热　源

8.2　大宗气体供应

8.3　特种气体供应

8.4　压缩空气供应

8.5　工艺真空和清扫真空

9　供暖、通风、空气调节与净化

9.1　一般规定

9.2　采暖、通风与废气处理

9.3　空气调节与净化

9.4　防　排　烟

10　给水排水

10.1　一般规定

10.2　一般给水排水

10.3　纯　水

10.4　工艺冷却循环水

10.5　废　水

10.6　消防给水及灭火设施

11　电　气

11.1　供配电与照明

11.2　防雷与接地

12　防　静　电

12.1　一般规定

12.2　防静电措施

12.3　防静电接地

13　化　学　品

13.1　一般规定

13.2　化学品储存和配送

13.4　化学品废液收集回收

14　空间管理

14.1　一般规定

14.2　管线布置

14.3　共用管道支、吊架