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中华人民共和国住房和城乡建设部公告
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目录
1 总 则
2 术 语
3 基本规定
4 施工准备
4.1 安装前的储存
4.2 施工条件及准备
4.3 设备开箱
4.4 设备搬运
5 设备安装
5.1 一般规定
5.2 外延设备安装
5.3 芯片制作设备安装
5.4 芯片封装设备安装
5.5 测试设备安装
5.6 二次配管配线
5.7 质量检验
6 单机试运转
7 工程验收
7.1 一般规定
7.2 交接验收
7.3 竣工验收
7.4 验收不合格处置
附录A 发光二极管基本生产工艺流程
附录B 验收记录表
本标准用词说明
引用标准名录
条文说明
编制说明
3 基本规定
4 施工准备
4.1 安装前的储存
4.2 施工条件及准备
4.3 设备开箱
4.4 设备搬运
5 设备安装
5.1 一般规定
5.2 外延设备安装
5.4 芯片封装设备安装
5.6 二次配管配线
6 单机试运转
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