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中华人民共和国住房和城乡建设部公告
前 言
1 总 则
2 术 语
3 站房布置
4 工艺系统
5 设备选择
6 高纯气体输送系统
6.1 一般规定
6.2 管道设计
6.3 管材及附件
6.4 安全及标志
7 建筑结构
8 采暖通风与空气调节
9 给水排水及消防
10 电气及仪表控制
11 施工及验收
11.1 一般规定
11.2 气体纯化站的施工
11.3 高纯气体输送系统的施工
11.4 改、扩建工程的施工
11.5 工程验收
附录A 高纯气体用BA、EP不锈钢管道技术要求
附录B 高纯气体管道氦检漏方法
附录C 施工验收测试记录表
本规范用词说明
引用标准名录
条文说明
制定说明
1 总 则
3 站房布置
4 工艺系统
5 设备选择
6 高纯气体输送系统
6.1 一般规定
6.2 管道设计
6.3 管材及附件
6.4 安全及标志
7 建筑结构
8 采暖通风与空气调节
9 给水排水及消防
10 电气及仪表控制
11 施工及验收
11.1 一般规定
11.2 气体纯化站的施工
11.3 高纯气体输送系统的施工
11.4 改、扩建工程的施工
11.5 工程验收
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