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丛书编委会
序言
前言
第1章 概述
1.1 微电子技术简介
1.2 光电子技术简介
1.3 工艺与制备
1.4 微电子与光电子集成技术简介
参考文献
第2章 光发射器件及集成技术
2.1 光发射器件理论基础
2.2 光发射二极管
2.3 半导体激光器
2.4 垂直腔面发射激光器（VCSEL）
参考文献
第3章 光接收器件及集成技术
3.1 光电探测器理论基础
3.2 光电探测器性能参数
3.3 基于Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的光电探测器
3.4 基于硅基双极型工艺的光电探测器
3.5 基于硅基CMOS工艺的集成光电探测器
3.6 锗硅光电探测器
3.7 光电探测器阵列
参考文献
第4章 光波导器件及集成技术
4.1 光传输的理论概述
4.2 光波导基本结构
4.3 SOI光波导
4.4 光波导器件制作技术
4.5 硅基电光调制器件简介
参考文献
第5章 光电子专用集成电路
5.1 光电子专用集成电路设计
5.2 光发射器驱动电路
5.3 光接收器前置放大电路
参考文献
第6章 硅基光电子集成回路
6.1 硅基光电子集成回路（OEIC）概述
6.2 集成硅基光发射器
6.3 集成硅基光波导
6.4 集成硅基光电接收器
参考文献
第7章 甚短距离光传输模块及相关技术
7.1 甚短距离光传输技术（VSR）简介
7.2 并行光传输模块及关键技术
参考文献
第8章 微电子与光电子混合集成技术
8.1 微光电子集成智能像素概述
8.2 SEED智能像素
8.3 SEED列阵研制
8.4 智能像素电路设计与模拟
8.5 智能像素集成技术基础工艺
8.6 微光电子集成智能像素发展前景
8.7 小结
参考文献
第9章 微电子与光电子集成技术展望
9.1 混合光电子集成技术
9.2 单片光电子集成技术
9.3 应用展望
附录A 缩略语
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