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再版说明
前言
第1章 薄膜光学特性计算基础
1.1 引言
1.2 单一界面的反射率和透射率
1.3 单层介质膜的反射率
1.4 多层介质膜的反射率和透射率
1.5 金属薄膜的光学特性
1.6 光学零件的反射率和透射率
思考题与习题
第2章 介质膜系及其应用
2.1 减反射膜
2.2 高反射膜
2.3 中性分束膜
2.4 截止滤光片
2.5 带通滤光片
2.6 偏振分束膜
2.7 消偏振膜系
思考题与习题
第3章 光学薄膜制造技术
3.1 光学真空镀膜机
3.2 真空与物理气相沉积
3.3 真空获得与检测
3.4 热蒸发
3.5 溅射
3.6 离子镀
3.7 离子辅助镀
3.8 等离子体增强化学气相沉积
思考题与习题
第4章 光学薄膜制造工艺
4.1 光学薄膜器件的质量要素
4.2 影响膜层质量的工艺要素
4.3 获得精确厚度的方法
4.4 获得均匀膜层的方法
思考题与习题
第5章 薄膜材料及其性质
5.1 薄膜的微观结构与性质
5.2 常用光学薄膜材料
思考题与习题
第6章 光学薄膜特性测试与分析
6.1 光学薄膜特性的检测标准
6.2 薄膜透射率、反射率的测量
6.3 薄膜光学常数和厚度的测量
6.4 薄膜吸收和散射的测量
6.5 薄膜激光损伤阈值的测量
6.6 薄膜非光学特性的检测
思考题与习题
第7章 功能薄膜及其应用
7.1 透明导电薄膜
7.2 太阳能薄膜
7.3 超硬薄膜材料
思考题与习题
附录A常见薄膜材料参数
参考文献
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