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新型谐振式传感器优化设计及应用
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新型谐振式传感器优化设计及应用电子书

本书可作为从事机械、电子和测控等领域的工程研究人员设计和研究传感器 的参考资料,也可作为机械、电子和测控等专业的研究生和高年级本科生课外阅 读材料。

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作       者：何高法,孟杰

出  版  社：重庆大学出版社

出版时间：2020-04-01

字       数：61

所属分类： 科技 > 工业技术 > 一般工业技术

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                        本书共6章，重介绍了谐振式传感器的发展现状、基本工作原理和设计方法；分析了其理论基础和敏感元件特性；对梁式和板式谐振子的振动特性行了理论和有限元分析。针对静电激励和电容检测式谐振器给出了一种检测和激励电路设计方法，并对所设计的电路行了实验验证。应用谐振原理设计了谐振式微加速度计，并行了工艺分析。后，讨论了利用谐振检测原理实现的扫描静电力显微镜并将其应用于试件表面微观形貌测量。 本书可作为从事机械、电子和测控等领域的工程研究人员设计和研究传感器的参考资料，也可作为机械、电子和测控等专业的研究生和高年级本科生课外阅读材料。                 <br/>
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第1章 概述

第2章 谐振式传感器的基础理论

第3章 谐振子结构设计和优化方法

第4章 谐振式传感器驱动和检测电路设计

第5章 谐振式微加速度计

第6章 基于音叉谐振器的静电力显微镜

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