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内容简介
PREFACE 前言
第1章 概述
1.1 引言
1.2 光学声传感器的发展现状
1.3 光学声传感器的MEMS制备工艺
1.4 光学声传感器的发展趋势
第2章 MEMS法珀腔光学声传感机理
2.1 声信号传播基本特性
2.2 MEMS法珀腔声传感机理
2.3 MEMS法珀腔声敏感响应特性
第3章 MEMS法珀腔声传感结构设计方法
3.1 全刚性法珀腔结构设计
3.2 稳定法珀腔聚焦特性
3.3 光声共焦法珀腔传感结构设计
第4章 基于光胶工艺的法珀腔制备方法
4.1 光胶工艺
4.2 基于光胶工艺的法珀腔制备
4.3 法珀腔声传感器的耦合封装
第5章 基于直接键合工艺的法珀腔制备方法
5.1 室温自发预键合
5.2 直接键合材料特性分析
5.3 直接键合法珀腔制备
5.4 法珀腔光学特性测试
第6章 光纤声传感声信号解调方法
6.1 光纤声传感器常用的信号解调技术
6.2 调相谱检测技术
6.3 谐振频率追踪与锁定技术
第7章 法珀腔声传感性能测试系统和方法
7.1 测试系统搭建及测试方法
7.2 基于调相谱技术的法珀腔声传感测试
7.3 基于不同品质因数的法珀腔声传感测试
7.4 法珀腔声传感器实际工程应用测试
参考文献
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